电子级氢氟酸的质量标准

因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：

1、低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；

2、中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；

3、中高dang产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；

4、高dang产品（UPss），适用于0.09～0.2μm和<0.09μmIC工艺技术的制作。